대한기계학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KSME Conference)
- 대한기계학회 2005년도 창립60주년 기념 추계 학술대회
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- Pages.131.1-131.1
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- 2005
RF MEMS Filter설계를 위한 몰리브덴박막의 기계적 물성 측정
Measurement of Mechanical Properties of Mo thin film for Design of RF MEMS Filter
- 발행 : 2005.11.01