Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2005.07c
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- Pages.2374-2376
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- 2005
A new polydimethylsiloxane microfluidic system integrated with micropump and microvalve
마이크로 펌프와 밸브가 집적된 polydimethylsiloxane microfluidic system
- Yoo, Jong-Chul (Dept. of Electrical Eng. Myongji University) ;
- Moon, Min-Chul (Dept. of Electrical Eng. Myongji University) ;
- Kim, Ju-Ho (Dept. of Electrical Eng. Myongji University) ;
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Kang, C.J.
(Dept. of Physics, Myongji University)
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Kim, Yong-Sang
(Dept. of Electrical Eng. Myongji University)
- Published : 2005.07.18
Abstract
본 연구에서 제안한 microfluidic system은 열공압 방식으로 구동되고 indium tin oxide (ITO) 및 polydimethylsiloxane(PDMS)로 제작하여 공정이 간단하고 비용이 저렴하여 일회용으로 사용이 가능하며 투명한 장점을 갖는다. 또한 마이크로 펌프는 인-채널 구조의 마이크로 밸브와 동일한 공정으로 제작하였다. 제안된 마이크로 펌프는 인-채널 구조의 마이크로 밸브와 같은 기판 위에 쉽게 집적하여 제작할 수 있다. 마이크로 펌프의 pumping rate는 인가 펄스 전압의 주파수와 duty비를 변화시켜 최적화하였다. Duty 비가 1%이고 주파수가 2 Hz일 때 최대 pumping rate를 보였으며 이때 pumping rate는 26.18nl/min이였다. 마이크로 밸브는 ITO 히터에 전력을 인가함으로서 유량의 on/off 제어가 잘 됨을 확인할 수 있었고 유체를 closing하기 위해 필요한 전력은 100mW이다.
Keywords