대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)

권호 표지

Focus Ring 재질과 두께변경에 따른 Rnit non uniformity 평가

Rnit non uniformity evaluation by materials and thickness of focus ring

차성호 (한양대학교 전기공학과) ;
정진욱 (한양대학교 전기공학과)

Cha, Sung-Ho (Hanyang University Electrical Engineering) ;
Chung, Chin-Wook (Hanyang University Electrical Engineering)

발행 : 2005.07.18

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초록

SF6 &NF3 chemistry를 사용하여 W bitline process 조건에서 plasma confinement 및 gas & radical의 flow에 영향을 미치는 focus ring 재질과 두께변경을 하여 Rnit non uniformity 평가한다.

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