Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2005.07c
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- Pages.2153-2155
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- 2005
Rnit non uniformity evaluation by materials and thickness of focus ring
Focus Ring 재질과 두께변경에 따른 Rnit non uniformity 평가
- Cha, Sung-Ho (Hanyang University Electrical Engineering) ;
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Chung, Chin-Wook
(Hanyang University Electrical Engineering)
- Published : 2005.07.18
Abstract
SF6 &NF3 chemistry를 사용하여 W bitline process 조건에서 plasma confinement 및 gas & radical의 flow에 영향을 미치는 focus ring 재질과 두께변경을 하여 Rnit non uniformity 평가한다.
Keywords