Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2005.07c
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- Pages.2034-2036
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- 2005
A Design and Manufacture on Sheet Resistance Measure Instrument of Semiconductor Wafers
반도체 웨이퍼 면저항 측정기의 설계제작
- Kang, Jeon-Hong (KRISS) ;
-
Kim, Han-Jun
(KRISS)
;
-
Han, Sang-Ok
(ChungNam Univ.)
;
- Kim, Jong-Suk (HanBat Univ.) ;
- Ryu, Je-Cheon (KMC)
- Published : 2005.07.18
Abstract
Four Point Probe 방법을 이용한 반도체 wafer의 면저항 측정을 위하여 single configuration 기술을 적용한 회로를 설계 제작하였으며, 제작된 FPP장치의 면저항 측정범위는
Keywords