대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2005년도 제36회 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.1995-1997
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- 2005
마이크로웨이브 화학기상합성법을 이용한 압력에 따른 탄소나노튜브의 성장 효과
Effects of working pressure on growth of carbon nanotubes by a microwave plasma chemical vapor deposition method
- 이재형 (군산대학교 전자정보공학부) ;
- 최성헌 (군산대학교 전자정보공학부) ;
- 최원석 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 김정태 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
- 홍병유 (성균관대학교 정보통신공학부)
- Lee, Jae-Hyeoung (Kunsan National University) ;
- Choi, Sung-Hun (Kunsan National University) ;
- Choi, Won-Seok (Sungkyunkwan University) ;
- Kim, Jung-Tae (Sungkyunkwan University) ;
- Hong, Byung-You (Sungkyunkwan University)
- 발행 : 2005.07.18
초록
마이크로웨이브 화학기상 증착방식으로 탄소 나노튜브를 성장시켰다. 탄소나노튜브를 성장시키기 위한 가스로는 수소
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