한국산학기술학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KAIS Fall Conference)
- 한국산학기술학회 2005년도 춘계학술발표논문집
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- Pages.122-124
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- 2005
3극형 이온펌프의 진공특성
Vacuum Characteristics of Triode Type Ion Pump
- Kim Sung-Woo (Dept of electronics engineering, Chungwoon University) ;
- Han Jae-Chun (Dept of electronics engineering, Chungwoon University) ;
- Kim Yung-Cho (Dept of electronics engineering, Chungwoon University)
- 발행 : 2005.05.01
초록
이극형 이온펌프에서의 내부 전극 구조의 문제점과 고전압에서의 방전특성을 고려하여 삼극형 이온펌프에서 -lkV
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