한국공작기계학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference)
- 한국공작기계학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.360-363
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- 2005
갈륨액체금속 이온원과 인듐액체금속 이온원의 빔 특성에 대한 연구
The study of beam characteristics for Ga LMIS and In LMIS
- 현정우 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 임연찬 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 정강원 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 정원희 (광운대학교 전자물리학과) ;
- 박철우 (한국산업기술대학교 기계공학과) ;
-
이종항
(한국산업기술대학교 기계공학과)
;
- 강승언 (광운대학교 전자물리학과)
- Hyun Jeong Woo ;
- Yim Youn Chan ;
- Jung Kang Won ;
- Jung Won Hee ;
- Park Cheol Woo ;
-
Lee Jong Hang
;
- Kang Seung Oun
- 발행 : 2005.05.01
초록
본 연구에서는 인듐 액체금속이온원을 제작하여 빔 특성에 대해 연구를 하였으며, 기존의 연구를 하였던 갈륨 액체금속 이온원의 빔특성과 비교분석 하였다. 빔특성 분석을 위해 빔 안정도, 전류-전압특성곡선, 에너지 퍼짐을 측정하였다. 액체금속이온원에 사용되는 액체금속 저장소 및 바늘전극(tip)은