한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2004년도 제27회 학술발표회 초록집
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- Pages.151-151
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- 2004
Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 기술을 이용한 $Al_{2}O_{3}$ 와 $ZrO_2$ 박막의 증착 및 특성 연구
- 발행 : 2004.08.19