Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2004.08a
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- Pages.139-139
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- 2004
RF-magnetron sputtering 방법으로 형성된 $RuO_2$ 박막의 전기적 특성 분석
- Published : 2004.08.19
Abstract
Keywords