Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2004.08a
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- Pages.138-138
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- 2004
Preparation of NiSi thin films by MOCVD using the novel $Ni(dmamp)_2$ precursor
- Jeong, Yeong-Suk ;
- Kim, Min-Chan ;
- Yang, Taek-Seung ;
- Lee, Yeong-Guk ;
- An, Gi-Seok ;
- Jeong, Taek-Mo ;
- Kim, Chang-Gyun ;
- Kim, Yun-Su
- 정영숙 (한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
- 김민찬 (한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
- 양택승 (한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
- 이영국 (한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
- 안기석 (한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
- 정택모 (한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
- 김창균 (한국화학연구원 박막재료연구팀) ;
- 김윤수 (한국화학연구원 박막재료연구팀)
- Published : 2004.08.19
Abstract
Keywords