기판온도에 따른 AlN 박막의 결정학적 특성

  • 김건희 (경원대학교 전기정보공학과) ;
  • 금민종 (경원대학교 전기정보공학과) ;
  • 김경환 (경원대학교 전기정보공학과)
  • 발행 : 2004.02.11