한국정보처리학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference)

한국정보처리학회 (Korea Information Processing Society)
권호 표지

반도체 Spinner 장비의 개발을 위한 GTP 설계 및 구현

Design and Implementation of GTP for Development of Semiconductor Spinner Equipment

  • 윤성희 (호서대학교 컴퓨터공학과) ;
  • 김효정 (호서대학교 컴퓨터공학과) ;
  • 류제 (호서대학교 컴퓨터공학과) ;
  • 한광록 (호서대학교 컴퓨터공학과)
  • Yoon Sung-Hee (Dept. of Computer Engineering, Hoseo University) ;
  • Kim Hyo-Jeung (Dept. of Computer Engineering, Hoseo University) ;
  • Ryu Je (Dept. of Computer Engineering, Hoseo University) ;
  • Han Kwang-Rok (Dept. of Computer Engineering, Hoseo University)
  • 발행 : 2004.11.01
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초록

본 논문에서는 기존의, 3C-3D 구조의 반도체 Spinner 장비가 동시에 처리할 수 있는 웨이퍼의 양이 3개고 제한적이며 HP와 CP Unit이 따로 존재하기 때문에 웨이퍼의 생산성을 저하시키는 단점을 보완하기 위하여 6C-6D 형태의 구조를 갖고 HP와 CP의 Unit을 HCP와 PEB Unit으로 변경시킨 새로운 구조의 Spinner를 설계하였으며, 이 장비의 로봇들을 학습시키고 테스트하기 위한 GTP 개발에 관하여 논한다. 새로운 구조의 Spinner 장비에서 각 Unit 로봇들을 효과적으로 학습시키기 위하여 장비의 구성 요소에 따라 사용자 인터페이스용 레이아웃을 능동적으로 설계하도록 하였으며 구성 요소들 간의 관계를 정의하고 사용자 편의성에 적합한 구성 요소들을 유연성 있게 배치하도록 하였다.

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