Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2004.05a
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- Pages.137-141
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- 2004
Nondestructive measurement of surface resistance of indium tin oxide(ITO) films by using a near-field scanning microwave microscope
근접장 마이크로파 현미경을 이용한 ITO 박막의 표면저항의 비파괴 관측 특성 연구
- Yun, Soon-Il (Department of Physics, Sogang University) ;
- Na, Sung-Wuk (Department of Physics, Sogang University) ;
- You, Hyun-Jun (Department of Physics, Sogang University) ;
- Lee, Yeong-Joo (Department of Physics, Sogang University) ;
- Kim, Hyun-Jung (Department of Physics, Sogang University) ;
- Lee, Kie-Jin (Department of Physics, Sogang University)
- 윤순일 (서강대학교 물리학과) ;
- 나승욱 (서강대학교 물리학과) ;
- 유현준 (서강대학교 물리학과) ;
- 이영주 (서강대학교 물리학과) ;
- 김현정 (서강대학교 물리학과) ;
- 이기진 (서강대학교 물리학과)
- Published : 2004.05.06
Abstract
저항특성이 다른 ITO박막의 구조특성과 표면특성을 XRD와 AFM(atomic force microscopy), SEM(scanning electron microscopy)을 이용하여 관측하였다. 접촉방식인 4단자 법을 사용하여 ITO박막의 표면전기저항을 측정하였다. 관측된 구조 및 표면특성을 바탕으로 비파괴 비접촉방식을 이용한 근접장 마이크로파 현미경을 이용하여 얻은 ITO박막의 표면저항특성과 비교 연구하였다.
Keywords
- ITO(indium tin oxide);
- near-field scanning microwave microscope;
- OLED (organic light emitting diodes);
- $S_{11}$ (reflective coefficient)