Proceedings of the Korean Institute of Resources Recycling Conference (한국자원리싸이클링학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Resources Recycling (한국자원리싸이클링학회)
권호 표지

Separation and Recovery of Silicon and Silicon Carbide from Slicing Sludge of Silicon Ingot

실리콘 잉고트 절단 슬러지로부터 실리콘 및 실리콘카바이드 분리 회수

  • Kim, Byoung-Gyu (Minerals and Materials Processing Division, Korea Institute of Geoscience & Mineral Resources (KIGAM)) ;
  • Jang, Hee-Dong (Minerals and Materials Processing Division, Korea Institute of Geoscience & Mineral Resources (KIGAM)) ;
  • Chang, Won-Chul (Institute for Research & Technology, Pungnam Semiconductor Technology Co.)
  • 김병규 (한국지질자원연구원 자원활용소재연구부) ;
  • 장희동 (한국지질자원연구원 자원활용소재연구부) ;
  • 장원철 (㈜풍남반도체테크 부설연구소)
  • Published : 2004.05.20
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Abstract

실리콘 잉곳의 절단공정에서 발생하는 폐슬러지는 실리콘과 실리콘카바이드 등의 유가자원이 함유되어 있으며, 이를 효과적으로 분리, 회수하는 방법에 대해 검토하였다. 폐슬러지에 함유된 오일은 유기 용매에 의해 용해되어 효과적으로 분리되었고, 불순물인 철분은 자력선별에 의해 제거할 수가 있었다. 또한 실리콘과 실리콘카바이드의 혼합 분말은 중액선별을 통하여 고순도의 실리콘과 실리콘카바이드로 분리할 수가 있었다.

Keywords