Proceedings of the Korean Institute of Resources Recycling Conference (한국자원리싸이클링학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Resources Recycling (한국자원리싸이클링학회)
권호 표지

Study on Synthesis of Silicon alkoxides from Slicing Sludge of Silicon Ingot

실리콘 잉고트 절단 슬러지로부터 실리콘 알콕사이드 합성에 관한 연구

  • Kim, Byoung-Gyu (Minerals and Materials Processing Division, Korea Institute of Geoscience & Mineral Resources (KIGAM)) ;
  • Jang, Hee-Dong (Minerals and Materials Processing Division, Korea Institute of Geoscience & Mineral Resources (KIGAM)) ;
  • Chang, Won-Chul (Institute for Research & Technology, Pungnam Semiconductor Technology Co.)
  • 김병규 (한국지질자원연구원 자원활용소재연구부) ;
  • 장희동 (한국지질자원연구원 자원활용소재연구부) ;
  • 장원철 (㈜풍남반도체테크 부설연구소)
  • Published : 2004.05.20
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Abstract

반도체 산업용 실리콘 잉곳의 절단공정에서 발생하는 폐슬러지 중에는 고순도의 실리콘이 함유되어 있으며, 이 슬러지로부터 분리, 회수한 Si로부터 실리콘화합물 합성하였다. 고비점의 potasium alkoxide 촉매 존재하에서 금속 실리콘과 에탄을 혹은 메탄올과 같은 알코올과의 고액반응에 의해 알콕시 실란을 합성할 수가 있었다 알콕시 실란을 합성반응속도는 반응온도에 크게 의존하였고 최적반응 온도는 $180^{\circ}C{\sim}195^{\circ}C$ 정도이었다. 촉매 첨가량에 따라 알콕시 실란의 반응율이 달라졌으며, 알콕시 실란의 반응율은 최고 90%로 높은 값을 나타내었다.

Keywords