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Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference
(한국세라믹학회:학술대회논문집)
2004.10a
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Pages.98.3-98.3
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2004
The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
Highly Sensitive Piezoelectric Micro-Bridge Mass Sensor
압전 마이크로 브리지 형 고 감도 질량 감지 소자
신상훈
(성균관대학교 재료공학과) ;
백준규
(성균관대학교 재료공학과) ;
권호준
(성균관대학교 재료공학과) ;
박준식
(전자부품 연구원(KETI)) ;
박효덕
(전자부품 연구원(KETI)) ;
이내웅
(성균관대학교 재료공학과) ;
이재찬
(성균관대학교 재료공학과)
Published : 2004.10.01
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