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Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference
(한국세라믹학회:학술대회논문집)
2004.10a
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Pages.95.4-95.4
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2004
The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
Low Index Contrast Planar SiON Waveguides Deposited by PECVD
PECVD 법에 의해 제작된 저굴절률 차이 평판 SiON 광도파로
김용탁
(성균관대학교 신소재공학과) ;
윤석규
(성균관대학교 신소재공학과) ;
윤대호
(성균관대학교 신소재공학과)
Published : 2004.10.01
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