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Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference
(한국세라믹학회:학술대회논문집)
2004.10a
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Pages.81.2-81.2
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2004
The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
The PE-ALD of Nitrides and Applications to Nanodevices
질화물의 플라즈마 원자층 증착 및 나노 소자에의 응용
김형준
(포항공과대학교 신소재공학과)
Published : 2004.10.01
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