Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2004.02a
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- Pages.286-287
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- 2004
MEMS wavelength tunable filter with 69nm tuning range
69nm 가변 범위를 갖는 MEMS 파장가변 필터
Abstract
GaAs 기판 위에 성장된 열구동 MEMS형 파장가변 필터 구조를 이용하여 제작 과정이 간단하면서도 구동 전압 1.7 V, 소비전력 0.92 mW만으로 69 nm의 파장가변이 가능한 저전압, 저소비전력 필터 소자를 구현하였다.
Keywords