한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)

한국광학회 (Optical Society of Korea)
권호 표지

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition을 이용한 박막의 광학적 특성 및 열처리 분위기에 따른 특성 평가

Effects of Annealing Atmosphere on the Characteristic sand Optical Properties of SiON Films Prepared Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

  • 윤기준 (전남대학교 신소재공학부 전자재료실험실) ;
  • 정동렬 (전남대학교 신소재공학부 전자재료실험실) ;
  • 문종하 (전남대학교 신소재공학부 전자재료실험실) ;
  • 홍성길 (전남대학교 신소재공학부 복합재료실험실) ;
  • 김진혁 (전남대학교 신소재공학부 전자재료실험실)
  • 발행 : 2004.02.12
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