한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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- Pages.1042-1045
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- 2004
근접장 마이크로파 현미경을 이용한 ITO 박막 면저항의 비파괴 관측 특성 연구
Nondestructive measurement of sheet resistance of indium tin oxide(ITO) thin films by using a near-field scanning microwave microscope
- 발행 : 2004.07.05
초록
ITO thin films (
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