Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2004.07b
- /
- Pages.977-980
- /
- 2004
Cost-down Antireflection Coating using Anodization for Multicrystalline Silicon Solar Cells
양극산화과정으로 형성된 저가 고효율 다결정 실리콘 태양전지 반사 방지막에 대한 연구
- Kwon, J.H. (Strategic Energy Research Institute (SERI) Department of Electronics Engineering, Sejong University) ;
- Kim, D.S. (Strategic Energy Research Institute (SERI) Department of Electronics Engineering, Sejong University) ;
- Lee, S.H. (Strategic Energy Research Institute (SERI) Department of Electronics Engineering, Sejong University)
- Published : 2004.07.05
Abstract
본 논문에서는 저가 고효율 태양전지를 제작하기 위하여 p형 다결정 실리콘 기판을 사용하여 수산화 칼륨(KOH)이 포함된 용액에 Saw damage 과정 후 불산이 함유된 용액에 전기화학적 양극산화 과정으로 실리콘 웨이퍼 표면에 요철을 형성하여 다공성 실리콘을 형성 하였다. 본 논문은 전기화학적 에칭방법으로 기존의 진공장비로 제작된 반사방지막의 반사율만큼 감소된 다공성 실리콘 반사방지막을 형성하였다. 전자빔 증착기(e-beam evaporator)로 단층으로 형성된