Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2004.11a
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- Pages.522-525
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- 2004
Nondestructive measurement of sheet resistance of indium tin oxide(ITO) thin films by using a near-field scanning microwave microscope
근접장 마이크로파 현미경을 이용한 ITO 박막 면저항의 비파괴 관측 특성 연구
- Yun, Soon-Il ;
- Na, Sung-Wuk ;
- Yun, Young-Wun ;
- You, Hyun-Jun ;
- Lee, Yeong-Joo ;
- Kim, Hyun-Jung ;
- Lee, Kie-Jin
- 윤순일 (서강대학교 물리학과) ;
- 나승욱 (서강대학교 물리학과) ;
- 윤영운 (서강대학교 물리학과) ;
- 유현준 (서강대학교 물리학과) ;
- 이영주 (서강대학교 물리학과) ;
- 김현정 (서강대학교 물리학과) ;
- 이기진 (서강대학교 물리학과)
- Published : 2004.11.11
Abstract
ITO thin films
Keywords
- Indium-tin-oxide (ITO);
- near-field scanning microscope (NSMM);
- X-ray diffraction (XRD);
- reflection coefficient $(S_{11})$ atomic force microscope (AFM)