Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Crystallization Behavior and Electrical Properties of BNN Thin Films prepared by IBASD Methods

IBASD법으로 제조된 BNN 박막의 결정화 및 전기적 특성

  • Woo, Dong-Chan (Department of Materials Science and Engineering, Yeungnam University) ;
  • Jeong, Seong-Won (Department of Materials Science and Engineering, Yeungnam University) ;
  • Lee, Hee-Young (Department of Materials Science and Engineering, Yeungnam University) ;
  • Cho, Sang-Hee (Department of Inorganic Materials Engineering, Kyungpook National University)
  • 우동찬 (영남대학교 재료금속공학부) ;
  • 정성원 (영남대학교 재료금속공학부) ;
  • 이희영 (영남대학교 재료금속공학부) ;
  • 조상희 (경북대학교 무기재료공학과)
  • Published : 2004.11.11
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Abstract

[ $Ba_2NaNb_5O_{15}$ ]은 orthorhombic tungsten bronze 결정구조를 갖는 강유전체로서, 단결정의 경우 $LiNbO_3$에 비해 우수한 비선형 전광계수 값을 나타내는 것으로 알려져 있으며, 또한 주목할만한 초전, 압전, 강유전특성을 나타내고 있다. 본 연구에서는 다른 강유전체박막에 비하여 상대적으로 연구가 덜 이루어진 BNN 박막을 세라믹 타겟을 사용하여 이온빔 보조 증착법을 사용하여 제조하였으며, $Ar/O_2$ 분위기에서 증착된 BNN 박막에 대한 결정화 및 배향 특성을 고찰하였고, 이에 따른 전기적 특성의 변화를 살펴보았다. 연구에 사용된 기판은 $Pt(100)/TiO_2/SiO_2/Si(100)$이었으며, 이온빔 보조 증착법에서 보조 이온빔의 에너지를 $0{\sim}400eV$로 변화 시키며 BNN 박막을 증착한 후, 열처리하였다. BNN 박막의 전기적 특성은 MFM 박막 커패시터의 형태로 제조하여 강유전 특성에 대해 살펴보았다.

Keywords