한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17
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- Pages.41-44
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- 2004
양성자 주입 조건에 따른 Si 다이오드의 전기적 특성
Electrical characteristics of Si diode with proton irradiation conditions
- 이강희 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
- 김병길 (위덕대학교 정보통신공학부) ;
- 이용현 (경북대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
- 백종무 (대원과학대학 전자정보통신과) ;
- 이재성 (위덕대학교 정보통신공학부) ;
- 배영호 (위덕대학교 정보통신공학부)
- Lee, Kang-Hee (School of Electrical Engineering and Computer Science Kyungpook National University) ;
- Kim, Byoung-Gil (Division of Information and Communication Engineering Uiduk University) ;
- Lee, Yong-Hyun (School of Electrical Engineering and Computer Science Kyungpook National University) ;
- Baek, Jong-Mu (Department of Electronic Telecommunication Daewon Science College) ;
- Lee, Jae-Sung (Division of Information and Communication Engineering Uiduk University) ;
- Bae, Young-Ho (Division of Information and Communication Engineering Uiduk University)
- 발행 : 2004.11.11
초록
양성자 주입 기술을 pn 다이오드의 동작 속도를 향상시키기 위한 방법 이용하였다. 양성자 주입은 에너지를 2.32 MeV, 2.55 MeV, 2.97 MeV로 변화시키며 수행하여, projection 범위를 각각 접합, 공핍, 중성영역에 위치하도록 하였다. 또한 각각의 에너지 조건에서 도즈를