Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Simple ${\mu}-scale$ selective patterning on a single nanowire by using an optical microscope

광학 현미경을 이용한 단일 나노선에서의 선택적 전극 형성 방법

  • Oh, Dong-Jin (Department of Electrical Engineering, Korea Univ.) ;
  • Kim, Kang-Hyun (Department of Electrical Engineering, Korea Univ.) ;
  • Pieh, Sung-Hoon (Department of Electrical Engineering, Korea Univ.) ;
  • Sim, Sung-Kyu (Department of Electrical Engineering, Korea Univ.) ;
  • Lee, Jong-Su (Department of Electrical Engineering, Korea Univ.) ;
  • Kim, Sang-Sig (Department of Electrical Engineering, Korea Univ.) ;
  • Kim, Gyu-Tae (Department of Electrical Engineering, Korea Univ.)
  • Published : 2004.07.05
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Abstract

광학 현미경을 이용한 포토리소그래피 방법을 통해 단일 나노선에 선택적 전극을 형성하였다. $SiO_2$ 기판에 나노선을 도포하여 사용하였고 수 마이크로미터 길이의 단일 나노선에 2단자 전극을 형성하는데 충분한 resolution을 얻을 수 있었다. 리소그래피 노광 광원으로는 현미경에 내장된 할로겐 램프를 사용하였고, 동일 광원으로 관측하기 위해 광학 필터를 사용하였다. 실험 상황에 따라 금속, OHP 필름, 종이 등의 재질로 다양한 마스크를 제작하여 사용하였다. 대물렌즈의 교환을 통해 다양한 projection 배율을 구현하였다.

Keywords