Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Nanometer Thick Fluorocarbon Films for Hot Embossing Master using $C_4F_8$

$C_4F_8$을 이용한 나노미터 두께를 가지는 Hot Embossing 용 마스터의 점착방지막 형성

  • 김인권 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 차남구 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 이진형 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과)
  • Published : 2004.05.14
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords