Preparation of ZnO thin films by MOCVD using buffer layers

MOCVD법으로 버퍼층을 활용한 ZnO 박막 제조

  • 박재연 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 이동주 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 윤영수 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 문종하 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 이병택 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 김상섭 (전남대학교 신소재공학부)
  • Published : 2004.05.14