Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology (한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집)
- 2004.05a
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- Pages.67-71
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- 2004
청색광 검출 Si Photodiode에서 $SiO_{2}/Si_{3}N_{4}$ 광반사 방지막의 최적두께 설계
Abstract
400~450nm 파장 범위의 청색광을 검출하는 Si 포토다이오드에서
Keywords