한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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- Pages.133-133
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- 2004
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- 2005-8446(pISSN)
크립현상을 고려한 PMMA의 상온 나노압입실험에 대한 연구
초록
박막이나 초미세 구조체의 경도 및 탄성계수 측정을 위한 나노 압입실험에서는 Oliver & Pharr가 제안한 하중-변위 측정 나노압입법이 널리 쓰이고 있다 위 실험법에서, 나노경도(nano-hardness; H