Effect of Heat Treatment on Adhesion Properties of TiN-Coated $Si_3N_4$

후 열처리가 $Si_3N_4$에 코팅된 TiN의 접착특성에 미치는 영향

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  • J. Tatami ;
  • K. Komeya ;
  • 김영구 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
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  • 김도경 (한국과학기술원 신소재공학과)
  • Published : 2004.04.01