열젖음 엠보싱 임프린팅 기법에 의한 무-유기 하이브리드 재료의 마이크로 및 나노 소자 제작

Thermo-Wetting Embossing Nano Imprinting(TENI) of Inorganic-Organic Hybrid Materials (HYBRIMERs) for the Fabrication of Micro and Nano Structure Devices

  • 김우수 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
  • 김광수 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
  • 남금희 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
  • 배병수 (한국과학기술원 신소재공학과)
  • 발행 : 2004.04.01