Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Improvement of Structural and Elctrical Properties of Low Temperature Sinterable PZT Thick Film for Biochip Application

캔틸레버형 바이오칩 소자 응용을 위한 저온 소결형 PZT 후박의 물성 및 전기적 특성 향상을 위한 연구

  • 박재홍 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 김환 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 박형호 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 손진호 (한국과학기술연구원 마이크로시스템) ;
  • 김형준 (한국과학기술연구원 마이크로시스템) ;
  • 김용범 (한국과학기술연구원 마이크로시스템) ;
  • 윤대성 (한국과학기술연구원 마이크로시스템) ;
  • 김태송 (한국과학기술연구원 마이크로시스템)
  • Published : 2004.04.01
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Abstract

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