Effect of $H_2$ addition in sputter gas on intermixing in IrMn/CoFe

$H_2$의 첨가에 따른 IrMn/CoFe의 계면섞임 제어 효과

  • AHN Hwang-Gi (Division of materials science and engineering, Korea University) ;
  • Lee Seong-Rae (Division of materials science and engineering, Korea University)
  • 안황기 (고려대학교 공과대학 신소재공학과) ;
  • 이성래 (고려대학교 공과대학 신소재공학과)
  • Published : 2004.06.01