대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2004년도 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.2087-2089
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- 2004
비선형성의 개선을 위한 Capacitive pressure sensor의 Touch mode 방식에 대한 유한요소 해석
Finite Element Analysis of Capacitive pressure sensor with Touch mode for improving non-linearity
- Kim, Do-Hyung (Dept. of Mechanical Engineering of Sogang University) ;
- O, Jea-Geun (Dept. of Mechanical Engineering of Sogang University) ;
- Choi, Bum-Kyoo (Dept. of Mechanical Engineering of Sogang University)
- 발행 : 2004.07.14
초록
Capacitive pressure sensor는 Piezo type sensor에 비해 온도의 영향이 적어 공업계측, 전기용품 등 그 용도가 다양하여 폭넓게 사용되어지고 있지만, 측정값의 비선형성이 존재하여 측정값에 대한 신뢰도가 떨어지는 단점이 있다. 본 연구에서는 기존 capacitive pressure sensor의 비선형적 output을 개선하기 위한 방법으로 touch mode capacitive pressure sensor를 제안하였다. 또한, 실제 Device제작에 앞서 FEM 해석을 수행하였다. 2mm X 2mm 크기의 diaphragm,
키워드