중심전극의 진공도에 따른 고주파 오존발생기에 관한 연구

A Study on the high frequency ozonizer according to vacuum of central electrode

  • 발행 : 2004.07.14

초록

본 논문에서는 2개의 유전체와 3개의 전극을 사용한 중첩방전형 오존발생기(Superposed Discharge Type Ozonizer, SDO)를 설계 제작한 후 중심전극 진공도 변화에 따른 고조파 오존발생기의 방전특성 및 오존생성특성을 연구하고, 방전 공간 내부에서 소비되는 에너지양을 측정하기 위하여 Lissajous법을 이용하였다.

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