대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2004년도 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.1621-1623
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- 2004
RF 스퍼터링법을 이용한 PZT(52/48)/BST(60/40) 이종층 박막의 유전 특성
The Dielectric Properties of PZT(52/48)/BST(60/40) Heterolayered Thin Film Prepared bv RF Sputtering Method
- 권현율 (광운대학교 전자재료공학과) ;
- 김지헌 (광운대학교 전자재료공학과) ;
- 최의선 (광운대학교 전자재료공학과) ;
- 이성갑 (서남대학교 전기전자공학부) ;
- 이영희 (광운대학교 전자재료공학과)
- Kwon, Hyun-Yul (KwangWoon University) ;
- Kim, Ji-Heon (KwangWoon University) ;
- Choi, Eui-Sun (KwangWoon University) ;
- Lee, Sung-Gap (Seonam University) ;
- Lee, Young-Hie (KwangWoon University)
- 발행 : 2004.07.14
초록
The
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