한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

마이크로다이아프램를 이용한 질량감지소자 제작

Fabrication of Mass Detecting Micro-diaphragm

  • 송상근 (성균관대학교 나노과학공학과) ;
  • 신상훈 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 백준규 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이재찬 (성균관대학교 재료공학과)
  • Published : 2003.10.17
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Abstract

Keywords