Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Development of Nickel Salicide Process for Ulsi Device Application

고집적 소자에의 적용을 위한 Nickel Salicide 공정 연구

  • 도기훈 (연세대학교 세라믹 공학과) ;
  • 김지선 (연세대학교 세라믹 공학과) ;
  • 민병기 (연세대학교 세라믹 공학과) ;
  • 고대홍 (연세대학교 세라믹 공학과)
  • Published : 2003.10.17
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Abstract

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