Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

2003.10a
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Pages.205.1-205
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2003

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)

권호 표지

Preparations and Characterizations of $TiO_2$ Thin Films by Plasma Enhanced Atomic Layer Depositions

플라즈마 원자층 증착법에 의한 $TiO_2$ 박막의 형성 및 특성 평가

박중진 (동의대학교 신소재공학과 동의대학교 전자세라믹스센터(ECC)) ;
이원재 (동의대학교 신소재공학과 동의대학교 전자세라믹스센터(ECC)) ;
이근형 (동의대학교 신소재공학과 동의대학교 전자세라믹스센터(ECC)) ;
김일수 (동의대학교 신소재공학과 동의대학교 전자세라믹스센터(ECC)) ;
신병철 (동의대학교 신소재공학과 동의대학교 전자세라믹스센터(ECC))

Published : 2003.10.17

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