Ge 함량에 따른 Ni Germanosilicide 박막의 열 안정성 연구

Study of Thermal Stability of Ni Germanosilicide Films according to the Ge Content

  • 김지선 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 도기훈 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 민병기 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 고대홍 (연세대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2003.10.17