Article Info.
Home
Article Info.
Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference
(한국세라믹학회:학술대회논문집)
2003.10a
/
Pages.195.2-195
/
2003
The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
Strain Deformation in Epi-SiGe Films Grown by UHV-CVD
UHV-CVD를 이용한 Epi-SiGe의 증착 특성 연구
Jeon, Gi-Seong
;
Min, Byeong-Gi
;
Go, Dae-Hong
전기성
(연세대학교 세라믹공학과) ;
민병기
(연세대학교 세라믹공학과) ;
고대홍
(연세대학교 세라믹공학과)
Published : 2003.10.17
PDF
Download PDF
〈 Previous
Next 〉
Abstract
Keywords