Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

2003.10a
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Pages.185.1-185
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2003

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)

권호 표지

Changes of Properties of ITO Thin Film Caused by Rapid Thermal Annealing

저온증착한 ITO 박막의 RTA 처리에 따른 특성변화

정진원 (요업기술원, 홍익대학교 금속 재료공학과) ;
황진하 (홍익대학교 금속 재료공학과) ;
최균 (요업기술원) ;
황정태 (알파 디스플레이) ;
최의석 (요업기술원)

Published : 2003.10.17

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