Characterization of PMW-PZT Thick Films Prepared by Sol Coating Method

Sol 함침방법에 따른 PMW-PZT 후막의 특성

  • Son, Jin-Ho ;
  • Kim, Yong-Beom ;
  • Cheon, Chae-Il ;
  • Kim, Tae-Song
  • 손진호 (서울시립대학교 재료공학과, 한국과학기술연구원 마이크로시스템센터) ;
  • 김용범 (한국과학기술연구원 마이크로시스템센터) ;
  • 천채일 (호서대학교 신소재공학과) ;
  • 김태송 (한국과학기술연구원 마이크로시스템센터)
  • Published : 2003.10.17