Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

2003.10a
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Pages.176.2-176
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2003

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)

권호 표지

Chemical Aspects of Abrasive in Copper CMP Slurry

구리 CMP 공정에서 슬러리내 연마입자의 화학적 특성

임건자 (한국과학기술연구원 나노재료연구센타) ;
김주선 (한국과학기술연구원 나노재료연구센타) ;
이종호 (한국과학기술연구원 나노재료연구센타) ;
이해원 (한국과학기술연구원 나노재료연구센타) ;
현상훈 (연세대학교 세라믹공학과)

Published : 2003.10.17

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Abstract

Keywords