Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2003.10a
- /
- Pages.150.2-150
- /
- 2003
CTAB-templated Mesoporous Silica Thin Film for the Low-k Application
CTAB로 주형된 메조기공성 실리카 박막의 층간 절연막으로의 응용
- Published : 2003.10.17
Abstract
Keywords