한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)
- 한국세라믹학회 2003년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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- Pages.146.2-146
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- 2003
PECVD법에 의해 증착된 $SiO_2$ 와 SiON 후막의 RF Bias power의 영향
The Effect of RF Bias Power on the $SiO_2$ and SiON Thick Film Deposited by PECVD
- 발행 : 2003.10.17