한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

유도결합 플라즈마(ICP)를 이용한 Er 첨가된 광도파막 식각 특성 연구

An Study on the Etching Characteristics of Er Doped Optical Waveguide Films using Inductively Coupled Plasma Etching

  • 어재호 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 송명곤 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 신동욱 (한양대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2003.10.17
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