Apparatus and Growth for Silicon Carbide Single Crystal by Sublimation

승화법에 의한 탄화규소 단결정 제작을 위한 장비의 제작 및 성장

  • 이종욱 (동의대학교 전자세라믹스센터) ;
  • 이건환 (동의대학교 전자세라믹스센터) ;
  • 김일수 (동의대학교 전자세라믹스센터) ;
  • 이원재 (동의대학교 전자세라믹스센터) ;
  • 이근형 (동의대학교 전자세라믹스센터) ;
  • 신병철 (동의대학교 전자세라믹스센터)
  • Published : 2003.10.17